蛍光ナノプローブを用いたCMPスラリーの砥粒粒度分布計測 砥粒粒子の幾何学径と拡散係数相当径の比較

2018年度精密工学会春季大会

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会春季大会

開催地: 中央大学

開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17

蛍光ナノプローブを用いたCMPスラリーの砥粒粒度分布計測

砥粒粒子の幾何学径と拡散係数相当径の比較

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会議録・要旨集フリー

p. 511-512

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抄録

本報告では，CMPスラリーに含まれる砥粒ナノ粒子の幾何学径と拡散係数相当径(Stokes径)の違いについて，比較し，その研磨効果に与える影響の評価や，幾何学径と拡散係数相当径の偏差補正方法について検討する．