両面研磨におけるウェハ－キャリア間の摩擦係数の調査

ウェハ－キャリア間の垂直抗力が及ぼす影響の評価

抄録

両面研磨中のウェハ挙動はウェハ－キャリア間の接触に大きく影響を受けることが示唆されており，これまでの研究でウェハ－キャリア間の摩擦係数の同定手法を開発している．本研究では，この手法を活用し，ウェハ－キャリア間の垂直抗力が摩擦係数に与える影響を調査する．そして，この摩擦係数に及ぼす影響が，両面研磨中のウェハ挙動の検討において及ぼす影響を検討する．