大気圧プラズマ装置の電磁場シミュレーションとプラズマパラメータ解析

酸化プラズマパラメータと酸化膜特性の関係

抄録

新たなプラズマプロセスの開発においては、プラズマ中の電子温度及び電子密度といった内部パラメータの制御が重要である。本研究ではインピーダンス整合装置を含めた装置全体の電磁場解析により大気圧プラズマの内部パラメータを求める新手法を提案している。今回は150MHz大気圧酸化プラズマについて、種々の酸化条件で形成したSiO2膜の特性と、電子温度、電子密度の関係を調べた結果を報告する。