高圧水素プラズマを用いた機能材料の成膜・加工プロセス

抄録

当グループでは、廉価、地球環境負荷が小さく、かつ毒性のないプロセスガスとして水素に注目し、水素を主体とした狭ギャップ・高密度プラズマによる機能材料の薄膜形成・加工にかかるエコクリーンなドライプロセスの開発を行ってきている。本報告では、本研究で用いる水素プラズマの特長を述べるとともに、これまで開発してきたSi、SiCさらには金属の薄膜形成・加工プロセスで得られた成果を紹介し、今後の展望について述べる。