圧電アクチュエータのヒステリシス特性の速度依存性に関する研究

抄録

圧電アクチュエータの変位－駆動電圧間のヒステリシス特性には速度依存性がある。圧電アクチュエータの変位の周波数特性測定すると，その位相特性はむだ時間要素の応答のように周波数が高くなるほど遅れる。圧電アクチュエータのヒステリシス特性の速度依存性はこの位相が遅れ大きくかかわっていると思われる。本研究ではこの速度依存性の駆動振幅による違いや駆動波形による違いなどを調査したので，その結果について報告する。