矩形小型パッドによる高速研磨技術の検討（第2報） パッドに形成した溝による高速化の検討

中野 尭仁; 松井 伸介; 宇根 篤暢

doi:10.11522/pscjspe.2019S.0_890

2019年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019S.0_890

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

矩形小型パッドによる高速研磨技術の検討（第2報）

パッドに形成した溝による高速化の検討

*中野尭仁, 松井伸介, 宇根篤暢

著者情報

キーワード: ポリッシング, ガラス, パッド

会議録・要旨集フリー

p. 890-891

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抄録

近年,研磨加工における加工時間の短縮化，高品質化が求められている．本検討では，矩形小型パッドと公転運動を組み合わせ局所に対する高速研磨技術について検討した．局所研磨を連続させることによって自由曲面の研磨加工を目指す.また，矩形小型パッドに溝を形成し溝幅と溝パターンを変化させ，高速化について検討した．

責任著者(Corresponding author)

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