階層型微細機能構造創製に関する研究（第1報） 多重定在波照明露光構造の光学特性の理論解析

畚野 剛瑠; 増井 周造; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2020S.0_3

2020年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020S.0_3

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2020年度精密工学会春季大会

開催地: 東京農工大学

開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19

階層型微細機能構造創製に関する研究（第1報）

多重定在波照明露光構造の光学特性の理論解析

*畚野剛瑠, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: サブ波長構造, 干渉造形, マイクロ光造形

会議録・要旨集フリー

p. 3-4

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抄録

近年マイクロ，ナノオーダの複雑で微細な表面構造が，特徴的な光学特性を有することから，非常に注目されている．本研究は階層的な表面微細機能構造について，その光学特性の解明と造形法の確立を目指すものである．本報では多重露光により干渉造形された表面構造を主に対象とし，複数個の正弦波の重ね合わせを用いてモデル化を行い，その光学特性を厳密結合波理論(RCWA)法によって解析した．

責任著者(Corresponding author)

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