精密位置決めにおける実用サーボ技術

産業機器における振動制御技術の開発経緯と今後への期待

抄録

位置決め技術は，高速高精度化する工作機械，半導体製造装置，産業用ロボット，測定機などの様々な産業機器の基盤技術であり，位置決め技術を支えるサーボ技術への要求が益々高くなっている．本稿においては，産業機器の振動制御に対する実用的なサーボ技術について，筆者の考える開発の世代分けと開発経緯を整理し，幾つかの有用な制御法の紹介と合わせて今後への期待を述べ，開発に携わる方々への一助とする．