主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 248-249
我々は電気光学変調器による高速な屈折率の正弦的変化からホモダインおよびヘテロダインレーザ干渉計の時間応答やレーザドップラ振動計の速度感度を絶対校正する新たな評価手法を開発した。本発表では、上述の評価手法の概要について発表し、またその評価手法を用いて20 kHzまでの加速度センサの感度と位相シフトの評価結果についても報告する。