精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
会議情報

電気光学変調器を用いたホモダインおよびヘテロダインレーザ干渉計の時間応答に関する評価
レーザドップラ振動計を用いた加速度センサの評価
*野里 英明穀山 渉下田 智文
著者情報
会議録・要旨集 フリー

p. 248-249

詳細
抄録

我々は電気光学変調器による高速な屈折率の正弦的変化からホモダインおよびヘテロダインレーザ干渉計の時間応答やレーザドップラ振動計の速度感度を絶対校正する新たな評価手法を開発した。本発表では、上述の評価手法の概要について発表し、またその評価手法を用いて20 kHzまでの加速度センサの感度と位相シフトの評価結果についても報告する。

著者関連情報
© 2022 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top