主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
富山県立大 工学研究科 知能デザイン工学専攻
p. 246-247
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前報では,物体表面で局所的に働く相互作用力の検出を利用したマイクロプローブによる直径0.1 mm未満の微細穴の内径測定を行い,プローブ接近方向と微細穴表面の法線方向の不一致の増加に伴うプロービング座標の分散の増加が確認された.本研究では,マイクロプローブを用いた微細穴内径測定におけるプローブ接近方向の違いによるプロービング繰り返し性を検証した.
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