表面相互作用力検出型マイクロプローブによるレーザ加工微細穴の内径測定

第2報　プローブ接近方向によるプロービング精度変化の検証

抄録

前報では，物体表面で局所的に働く相互作用力の検出を利用したマイクロプローブによる直径0.1 mm未満の微細穴の内径測定を行い，プローブ接近方向と微細穴表面の法線方向の不一致の増加に伴うプロービング座標の分散の増加が確認された．本研究では，マイクロプローブを用いた微細穴内径測定におけるプローブ接近方向の違いによるプロービング繰り返し性を検証した．