精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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表面相互作用力検出型マイクロプローブによるレーザ加工微細穴の内径測定
第2報 プローブ接近方向によるプロービング精度変化の検証
*有賀 正和伊東 聡富岡 剛大松本 公久神谷 和秀
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p. 246-247

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抄録

前報では,物体表面で局所的に働く相互作用力の検出を利用したマイクロプローブによる直径0.1 mm未満の微細穴の内径測定を行い,プローブ接近方向と微細穴表面の法線方向の不一致の増加に伴うプロービング座標の分散の増加が確認された.本研究では,マイクロプローブを用いた微細穴内径測定におけるプローブ接近方向の違いによるプロービング繰り返し性を検証した.

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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