積層圧電素子を用いた共振駆動型SIDMの構造設計

谷田貝 大地; 笹村 樹生; 三宅 奏; 森田 剛

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_684

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_684

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

積層圧電素子を用いた共振駆動型SIDMの構造設計

*谷田貝大地, 笹村樹生, 三宅奏, 森田剛

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キーワード: SIDM, 超音波, 圧電

会議録・要旨集フリー

p. 684-685

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抄録

R-SIDMは共振周波数比が1:2となる共振振動を用いて入力電圧を疑似ノコギリ波形としてSIDM駆動を可能とした．しかし積層圧電素子を用いたR-SIDMでは1次と2次の共振振動のノード点が一致せず駆動時の支持損失が大きい．本研究では伝達マトリクス法を用いて設計を行い，積層圧電素子に金属を付加することにより1次と3次の共振周波数比を1：2として疑似ノコギリ波形での駆動を可能とし，かつノード点が一致する構造を見出した．

責任著者(Corresponding author)

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