リンク機構を用いた平面二自由度超音波モータの設計と試作

抄録

本研究では，直動，揺動運動を行う平面二自由度超音波モータの開発を行った．提案する超音波モータは一つのステータと二つのスライダ，リンク機構で構成され，ステータは二つのスライダを同時に動作させることができる．ステータの電圧の印加方法を変えることで，二種類の異なる振動モードを選択的に同時に励起し，スライダに取り付けられたリンク機構を直動，揺動運動をさせる．