LSIにおける故障解析技術

抄録

LSIチップの故障解析をする際に用いられている故障解析技術の概要を紹介する。故障解析の分野で特有の技術あるいは故障解析技術として積極的に開発された技術について述べ、他の分野で用いられているものを借用しているものについては割愛した。取り上げた主な技術は、エミッション顕微鏡法、液晶法、OBIC法、EBテスタ法、FIB法等である。最後に、90年代になってから新たに開発された技術についてもふれ、今後の展望を試みた。