半導体生産ラインにおける生産性向上のためのシステムデザイン

抄録

この論文では、リエントラントフローショップ方式で工程を処理していく特徴がある半導体生産ラインのモデルを作成する。このモデルの使用によりバッチ装置の生産ラインおよび枚葉装置の生産ラインのサイクルタイムを求め、評価します。それにより、より良い生産効率を得るための生産ラインを見出します。