SPring-8/SACLA利用研究成果集
Online ISSN : 2187-6886
Section A
深さ分解硬X線光電子分光によるチタン薄膜の水素吸蔵・脱離過程の分析
高木 康多保井 晃
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ジャーナル オープンアクセス

2022 年 10 巻 4 号 p. 365-371

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抄録
 キャリア励起によるチタンからの水素脱離過程の分析のために、硬X線光電子分光(HAXPES)によってチタン薄膜の深さ分解測定を行う。しかしながら、チタンは酸素との反応性が高く、酸化膜が容易に形成され水素化が阻害される。そのため、酸化膜の制御を抑制するためパラジウムの保護膜をチタン薄膜の上に形成した。この試料を水素ガスに曝露し、HAXPES によりこの Pd 保護膜の下のチタンを測定することによって、チタンの酸化が抑えられ水素化チタンが形成されていることが分かった。
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