Ｘ線を用いたナノ繊維の構造解析

抄録

　さまざまな製造プロセスにおいて、製品を非破壊で内部検査する技術は、製品の品質管理、品質改善、さらには歩留まりの向上を進めるうえで重要である。近年、微細加工技術が急速に発展していることに伴い、ナノメートルサイズの内部構造を広い範囲で高速に検査することが求められている。そこで、本実験では、ナノメートルサイズの微細繊維であるフィブリル（fibril）の束から構成されるとされるシルク繊維を用い、Ｘ線回折を利用した従来の内部測定手法で現状の測定速度‧精度を確認し、技術課題を抽出することを目的とする。