光学薄膜界面の HAXPES 解析

抄録

光デバイス表面の反射率、透過率等の光学特性制御のために用いる光学薄膜は、積層膜であることが多いが、膜のバルク層や界面層が設計と異なる状態となっている場合、その層で意図せぬ光散乱や光吸収が生じるため、設計した光学特性が得られない悪影響が生じる。今回、設計と異なる光学特性を示した積層膜に対し、硬X線光電子分光（HAXPES）を用いた化学結合状態分析を行った結果、界面層が設計と異なる状態となっていることが明らかとなった。