応用物理学会学術講演会講演予稿集

第63回応用物理学会春季学術講演会

選択された号の論文の4012件中2951～3000を表示しています

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高効率静電型エレクトレットMEMS変圧器の設計

鈴木雅人, 森山喬史, 橋口原

セッションID: 20a-S423-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2951

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スペース赤外線望遠鏡における波面補正のための極低温用可変形鏡の開発：実証実験について

高橋葵, 塩谷圭吾, 櫨香奈恵, Paul Bierden, Steven Cornelissen, Charlie Lam, Mic ...

セッションID: 20a-S423-6
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2952

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マイクロ流路を用いた微細素子のアレイ化

岡田義之, 川合健太郎, 有馬健太, 森田瑞穂

セッションID: 20a-S423-7
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2953

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MEMS可変単結晶シリコン回折格子のLSI回路上への集積

佐々木敬, 鈴木智大, 松浦寛, 羽根一博

セッションID: 20a-S423-8
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2954

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A THz Dynamic Switch with MEMS Metamaterial Method

Zhengli Han, Takuya Takahashi, Hiroshi Toshiyoshi

セッションID: 20a-S423-9
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2955

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局所溶融液相成長による石英基板上単結晶GeSn層形成とトランジスタ応用

小山真広, 岡博史, 天本隆史, 冨永幸平, 田中章吾, 細井卓治, 志村孝功, 渡部平司

セッションID: 20p-S423-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2956

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大気圧マイクロ熱プラズマジェットを用いたP⁺ドープa-Ge膜の結晶化及び活性化

原田大夢, 中谷太一, 新良太, 東清一郎

セッションID: 20p-S423-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2957

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薄膜poly-Geをチャネルに利用したガラス基板上の平面型自己整合メタルダブルゲート低温poly-Ge TFT

西村勇哉, 中島拓哉, 母里誠, 原明人

セッションID: 20p-S423-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2958

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ハイパワー大気圧熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜の高速溶融結晶化と連続結晶成長

中島涼介, 花房宏明, 東清一郎

セッションID: 20p-S423-4
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2959

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YSZ結晶化誘発層と2段階パルスレーザ照射法を用いた固相結晶化Si薄膜のTFT特性

堀田將, マイリアン

セッションID: 20p-S423-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2960

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CWレーザーアニール法による非晶質基板上Si薄膜の(100)面配向結晶化

仁枝嘉昭, 佐々木伸夫, 菱谷大輔, 堀田昌宏, 石河泰明, 浦岡行治

セッションID: 20p-S423-6
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2961

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スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT

原田大成, 我喜屋風太, 安次富卓哉, 岡田竜弥, 野口隆, 野田勘治, 諏訪明, 池上浩, 奥山哲雄

セッションID: 20p-S423-7
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2962

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低コストのCMOSを目指した金属ソース・ドレイン電極によるpチャネル型poly Si TFTの実現

原田大成, 安次富卓哉, 岡田竜弥, 野口隆, 西方靖, 太田淳

セッションID: 20p-S423-8
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2963

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n⁺p接合太陽電池に対する水素アニールの最適化

楊天煕, 魏煌, 鈴木仁, 岡田竜弥, 野口隆, 河本直哉

セッションID: 20p-S423-9
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2964

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青色半導体レーザアニール中のポリイミド上Si膜の温度解析

岡田竜弥, 志津勇介, 野口隆

セッションID: 20p-S423-10
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2965

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レーザーアニール技術の高性能パワー素子プロセスへの応用

陳訳, 岡田竜弥, 野口隆, マッツァムトフルビオ, ヒュエットカリム

セッションID: 20p-S423-11
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2966

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マイクロ波急速加熱によるシリコン内の不純物拡散

太田康介, 木村駿介, 蓮見真彦, 鮫島俊之, 鈴木歩太, 牛島満

セッションID: 20p-S423-12
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2967

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FLAを用いたn+/p接合Geにおける高活性化と浅い接合形成

谷村英昭, 河原崎光, 小野行雄, 山田隆泰, 加藤慎一, 青山敬幸, 小林一平

セッションID: 20p-S423-13
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2968

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High On-to-Off Ratio Ge n⁺p Junctions by Peripheral Passivation Control

Chi Liu, Hiroki Ikegaya, Tomonori Nishimura, Akira Toriumi

セッションID: 20p-S423-14
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2969

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ラマン分光法及びイメージング法による低温多結晶シリコン薄膜の結晶性分布評価

横川凌, 高橋和也, 小森克彦, 廣田良浩, 澤本直美, 小椋厚志

セッションID: 20p-S423-15
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2970

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中空構造SOI層を用いた低温転写技術におけるPET基板上高転写率の実現

水上隆達, 中川明俊, 平松和樹, 竹島真治, 山下知徳, 東清一郎

セッションID: 20p-S423-16
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2971

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イオン注入操作によって単結晶ゲルマニウム中に生じる欠陥のDLTSによる解析

池谷大樹, 西村知紀, 矢嶋赳彬, 鳥海明

セッションID: 20p-S423-17
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2972

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スパッタエピタキシーによるp⁺エミッタ型Si太陽電池の開発

森山光, 葉文昌

セッションID: 20p-S423-18
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2973

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Low Temperature Cat-Doping of Phosphorous Atoms into Crystalline Silicon through Ultrathin SiO₂ Layer

Huynh ThiCamTu, Koyama Koichi, Terashima Shigeki, Matsumura Hideki

セッションID: 20p-S423-19
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2974

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ガラス基板上に形成された自己整合四端子メタルダブルゲートCLC LT poly-Si TFTを用いたpHセンサの検討

大澤弘樹, 中野道広, 鈴木仁志, 桑野聡子, 原明人

セッションID: 21p-P17-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2975

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ガラス基板上のHigh-kゲート絶縁膜を有する自己整合メタルダブルゲート Ni-SPC 低温 Poly-Si TFT

仁部翔太, 原明人

セッションID: 21p-P17-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2976

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Multi-Line-Beam CLC poly-Si TFTsにおけるチャネル不純物導入の効果

平岩弘之, 平田達誠, グエンティトゥイ, 小谷光司, 黒木伸一郎

セッションID: 21p-P17-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2977

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低温MLB-CLC poly-Si TFTsの電気特性に対する結晶粒界の影響

平田達誠, グエントゥイ, 平岩弘之, 小谷光司, 吉川公麿, 黒木伸一郎

セッションID: 21p-P17-4
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2978

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SiGeストップ層を用いた歪みGe-On-Insulator構造の形成技術開発

矢島佑樹, 澤野憲太郎

セッションID: 21p-P17-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2979

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DCマグネトロンスパッタによるSi(001)基板上へのGe薄膜の形成

大塚慎太郎, 森貴洋, 森田行則, 内田紀行, 柳永勛, 大内真一, 更田裕司, 右田真司, 昌原明植, 松川貴

セッションID: 21p-P17-6
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2980

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フラッシュランプアニール(FLA)による高電子濃度かつ高電子移動度のn⁺poly-Ge形成

小池正浩, 臼田宏治, 鎌田善己, 森貴洋, 前田辰郎, 手塚勉

セッションID: 21p-P17-7
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2981

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Si-ULSI用の電極形成のための熱処理技術の開発

上村和貴, 中家大希, 荒井哲司, 山本千綾, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 高松利行

セッションID: 21p-P17-8
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2982

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表面活性化ボンディング法によるAl箔/Si接合の電気特性評価

古名克也, 梁剣波, 松原萌子, 西尾佳高, 重川直輝

セッションID: 21p-P17-9
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2983

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CVD法によるMnO_x拡散バリア層の形成に伴うポーラスSiOCHへのMn拡散

小出紘之, 王昊, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

セッションID: 21p-P17-10
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2984

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凹凸構造を持つウェハの切削平坦化金バンプを用いた真空封止接合

平野栄樹, 引地広介, 田中秀治

セッションID: 21p-P17-11
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2985

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Si/Cu同時研削と無電解SnめっきとSiアルカリエッチングを用いたSi貫通電極露出工程

渡辺直也, 青柳昌宏, 坂東翼, 三井貴彦, 山本栄一

セッションID: 21p-P17-12
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2986

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プラズモニック吸収体を用いた波長選択型非冷却赤外線センサ：不要吸収モードの除去

久保山貴文, 高川陽輔, 小川新平, 藤澤大介, 木股雅章

セッションID: 21p-P17-13
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2987

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プラズモニック吸収体を用いた波長選択型非冷却赤外線センサによる二酸化炭素検知

久保山貴文, 高川陽輔, 小川新平, 藤澤大介, 安井慎一, 木股雅章

セッションID: 21p-P17-14
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2988

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波長計測のためのサブ波長ホールアレイを有する光ナノメカニカル振動子の作製

後藤雅貴, 前田悦男, 米谷玲皇

セッションID: 21p-P17-15
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2989

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容量計測型呼吸センサにおける電極配置と信号の安定化

寺澤槙恵, 苅田桃子, 熊谷慎也, 佐々木実

セッションID: 21p-P17-16
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2990

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積層メタル構造を用いたMEMS加速度センサのストッパーのロバスト性検討

小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之

セッションID: 21p-P17-17
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2991

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Sub-1G検出へ向けたCMOS-MEMS加速度センサの検討

山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 年吉洋, 益一哉, 町田克之

セッションID: 21p-P17-18
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2992

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電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性

寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一 ...

セッションID: 21p-P17-19
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2993

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Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices

唐浩峻, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田克之, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人

セッションID: 21p-P17-20
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2994

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マイクロ圧縮試験による金/チタン積層構造の機械的特性評価

石塚陽大, 柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根 ...

セッションID: 21p-P17-21
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2995

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マイクロサイズ圧縮試験を用いたAl合金の変形挙動における結晶粒界の研究

鄭伯倫, 名越貴志, チャンツォーフマーク, 細田秀樹, 里達雄, 曽根正人

セッションID: 21p-P17-22
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2996

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マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価

浅野啓介, 唐浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正 ...

セッションID: 21p-P17-23
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2997

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微小圧縮試験及び微小引張試験によるMEMS用Cu-Ni-Si合金の機械的特性評価

柳田佐理, 荒木章好, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chu-Yi, 名越貴志, 小林郁夫, 細田秀樹, 里達 ...

セッションID: 21p-P17-24
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2998

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マイクロ圧縮試験によるMEMS用金電気めっきの機械的特性の評価

葭葉将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人

セッションID: 21p-P17-25
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2999

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エナジーハーベスト用ショットキーダイオードの検討その２

宮地晃平, 松野下誠, 岸川諒子, 吉田賢史, 嘉数誠, 堀部雅弘, 西川健二郎, 岩室光則, 川﨑繁男

セッションID: 21p-P17-26
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3000

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