2台のCCDカメラを用いて高精度三次元位置測定を試み, 以下の結論を得た.
(1) データベース補正法によりレンズ収差の影響を大幅に除去した.誤差は無補正のものに比べ1/4程度に減少した.
(2) 直線近似エッジ検出法を用いてターゲット重心位置計算の再現性向上を図った.静止ターゲットの画像上の重心位置 (
U,
W) の複数回測定時の再現性は, 画像水平方向で1.8×10
-3pixe1 (7.65μm), 垂直方向で2.6×10
-3pixel (5.29μm) となり, 大幅な精度向上が達成された.
(3) 2台のCCDカメラを用いて静的三次元位置測定を行った.カメラから800~1000mmの距離にある100×200×100mm空間内の測定精度は100μmであった.また, ターゲット移動を1平面上 (図8の
B面) に限定した場合での測定精度は100×100mmにおいて20μmであった.
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