低角斜め切削法による中間薄膜層の組成分析

抄録

ミクロンオーダー以下の厚みで制御された積層材料中間層の組成分析を行うために，その前処理として，低角斜め切削法を検討した。その結果，厚み数10nm～10μm以下の中間層について，低角斜め切削法による前処理を行うことで，顕微FT-IRやTOF-SIMSなどの既存の分析機器を用いて，その組成を評価することが可能となった。さらに，斜め切削を行う前に対象試料に染色処理を施すことや，対象試料を冷却しながら切削を行うことが，中間層を適切に斜め切削するための条件として有効であることを見出した。