マルチプローブを用いた微細プリント配線検査システムに関する研究

抄録

プリント配線板検査には外観検査が用いられているが信頼性は十分ではない。信頼性向上のためには、高速で配線の配線状態を確認することが可能な検査装置の開発が求められている。本研究ではコンタクトピンの通電不良を無くすため誘電体付プローブの開発を行ってきた。さらに微細な配線には、精密な位置決めを行い、微小領域の信号をとらえることで微細な傷の検出が可能と考えた