電気学会誌
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特集:パワーデバイス用半導体結晶 —Si, SiC, GaN, ダイヤモンド, Ga2O3
パワーデバイス用SiC結晶
—4H-SiC結晶成長技術の進展—
土田 秀一
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2017 年 137 巻 10 号 p. 677-680

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抄録

1.はじめに

シリコンカーバイド(SiC)パワーデバイスは,現有シリコン(Si)デバイスよりも低損失動作が可能であることから,各種の電力変換機器の高効率化を通じて,大きなCO2排出量削減効果をもたらす技術として注目されている(1)(2)。最近では,600~3 300V級のSiCショットキーバ

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