教育講座
表面分析の基礎から応用 (IV)
2019 年 58 巻 2 号 p. 257-260
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2019 年 58 巻 2 号 p. 257-260
前回に続き，波長分散型元素分析装置 (EPMA) を用いた金属材料ミクロ組織の元素分析法について解説した．
最重要部品であるX線分光器の取り付け位置について詳細に解説した．また，分析試験片表面の微細な段差や凹凸が分析結果に及ぼす影響について解説した．分析試験片表面に露出した接合界面とX線分光器との位置関係が，EPMAによる元素分析結果に及ぼす影響について解説した．これらを理解した上で分析試験片を作製する事が良質な分析結果を得る上で重要な事を示した．
