ガラス基板と両面ITO透明電極の組み合わせによるSrS:Ce透明薄膜EL素子を電子線蒸着法により作製した。Ce^<3+>の発光は成膜方法や条件により変化しやすく、再現性が得られていない。そこでCe^<3+>の青緑色発光の再現を試みた。今回Ce^<3+>発光と成長槽内の雰囲気の関係をQMS(四重極質量分析計)により調べた。過剰なH_2Sの供給と、適度なH_20の雰囲気の組み合わせにより作製したSrS:Ce薄膜EL素子は、Ce^<3+>本来の青緑色発光を示した。作製した透明EL素子は1kHz、250V駆動においてCIE色度座標値(x,y)=(0.18,0.33)、輝度340cd/m^2、効率0.15lm/Wを示した。
