大気圧プラズマジェットのアレイ化

抄録

大気圧放電プラズマは有害物質の分解や滅菌からナノ材料の作製まで幅広い応用が期待されている技術である。これまで各種の大気圧放電発生方法が考案されている。なかでも大気圧プラズマジェットは開放した空気中にプラズマを供給できる手法として注目されている。従来のプラズマジェットの形状は微細であり細部への処理には向いているが，広範囲の処理にはプラズマジェットを走査するなどの必要がある。本研究では複雑形状をした処理物質へのプラズマ照射やプラズマの体積の増加を目的にプラズマジェットのアレイ化を試みた。1つの電源と1つのガス供給源を用いて，４本のプラズマジェットが同時に安定して発生できることに成功した。