抄録
放電プラズマ中の気体温度や平均電子エネルギーは、電気絶縁分野では高圧機器の絶縁物・被膜の劣化及び絶縁破壊と深く関係し、プラズマ応用の分野ではプラズマ化学反応や電極損耗と密接に関係する。そのためプラズマ診断技術の進化は、プラズマ発生機器の開発で極めて重要である。 これまで我々が行ってきた放電プラズマの分光学的気体温度計測は、発光観測領域の空間的な平均値としての測定である。我々は現在、分光画像診断法で、大気圧正極性直流グロープラズマ中の気体温度と平均電子エネルギーの二次元分布測定を行っている。本稿では、これまでに得られた主な結果を公表する。その結果について発表を行う。
