SCREAM法を用いた真空封止評価専用デバイスの開発

抄録

本研究では，真空封止されたマイクロキャビティの内部圧力を測定する，真空封止評価専用のデバイスをSCREAM法により開発するとともに，デバイス設計に必要な分子流領域での振動子の気体減衰量を推定する方法を新たに提案し，検討を行った。これまでに，MEMSの真空封止評価は振動子や隔膜を用いて評価しているが，測定できる圧力範囲が不十分であるなどの問題があった。本研究では，真空封止が必要なデバイスの調査から，必要な圧力測定範囲の下限は0.1 Paであり，最適なセンシング方法は振動子の機械的なQ値の圧力依存性を用いた方法とし，圧力測定範囲が0.1～10³ Paである真空封止評価専用デバイスの開発に成功した。