TSV構造配線のMEMSロゴスキーコイル型電流センサ

抄録

パワーデバイスの過電流検知を目的に，MEMS技術を用いてTSV構造配線のロゴスキーコイル型電流センサを作製した。デバイスは，デバイス上下に通電するためのTSV構造の電流端子と，電流端子に流れる電流を検出するTSV構造配線からなるロゴスキーコイルで構成されている。TSVは，via径100 μm，137ターンで，デバイスサイズ10 × 10 × 0.3 mm³である。高比抵抗（>10,000 Ωcm）のシリコン基板を用いて作製し，TSV電流端子に通電したところ，安定した電流検知を実現した。