3D積層型 CMOS イメージセンサを実現するプロセス技術

エレクトロニクス実装学会誌

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Print ISSN : 1343-9677
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講座　「三次元実装基礎講座」第8回

3D積層型 CMOS イメージセンサを実現するプロセス技術

岩元勇人, 香川恵永

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2024 年 27 巻 1 号 p. 163-168

DOI https://doi.org/10.5104/jiep.27.163

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