放射光を用いたマイクロコネクタの開発

抄録

マイクロマシンに搭載しマシン同士を連結するためのマイクロコネクタ (直径2.5mm, 厚さ2mm) を開発した。このマイクロコネクタは幅7μm, 高さ80μm, 長さ300μmの片持ち梁構造の端子を24本有し, 端子はシンクロトロン放射光のX線を用いたディープX線リソグラフィ技術と微細めっきを組み合わせて製作した。われわれは, 結晶子サイズを小さくし, 結晶子サイズや配向をめっき成長方向に揃えることで, Niめっき構造体のヤング率および靭性を高くし, 端子製作に適用した。マイクロコネクタの電気的特性を測定し, マイクロマシンからの要求仕様を満たすことを確認した。