直径200mmを超える大口径の光学ガラスレンズは，研削加工を用いて所望の形状を創成したのち，クラック，研削痕を研磨加工により除去することで製造されている．現状，この研磨加工による研磨深さは数十μmに及び，レンズ形状精度の低下要因となる．研磨工程短縮のためには，高能率かつ高精度な研削加工技術の開発かつ，研削加工時のサブサーフェスダメージを定量的に評価することが求められている．本研究では，従来用いられているレジンボンド砥石とは異なり，高い弾性を有するゴム砥石を用い，その加工特性を調べた．また，フッ化水素酸によるエッチングを応用してレジンボンド砥石とゴム砥石を用いた場合の光学ガラス表面のサブサーフェスダメージを評価・分析した．結果として，砥石硬度および研削モードがサブサーフェスダメージに与える影響に違いが生じることを明らかにした．
