2A1-60-076 IC 検査用フレキシブルインサータの開発

抄録

半導体検査装置(測定工程)において, 異なるパッケージと測定環境に対応するために様々な形態のハンドラが必要となり, 効率の悪い工程になっている。従って, より安定してフレキシブルでしかも効率のよいハンドラをシステム化する上で, コアデバイスであるフレキシブルなインサータの開発が必要とされている。本研究では, PCU (Passive Compliance Unit) と呼ぶ新しい要素を備えた力制御型のインサータを開発した。