2P1-3F-F1 微小分解能と大作業領域を同時実現する冗長パラレルマニピュレータ

抄録

ナノメートルオーダの微小領域の分解能と100mmオーダの変位を3次元空間で同時実現するマニピュレータの運動機構として, 連結連鎖内に冗長自由をを持たせたパラレルメカニズムを提案する。