1A1-1F-F3 針状電極 ECF ジェットによる発生圧力を利用したマイクロアクチュエータ

抄録

ECFは, 高電圧を印加することでジェットを生ずる誘電性の液体である。本報では, 針状電極とリング状電極の電極対により生ずる針状電極ECFジェットを利用しブルドン管の原理で駆動されるチューブ形マイクロアクチュエータの特性評価, およびその結果を利用した2自由度マイクロマニピュレータの試作を行っている。