抄録
本論文は, 高分解能, 高信頼性, 広い温度レンジを持つ, スリット状LED光源を用いた干渉縞検出リニアエンコーダに関する. このリニアエンコーダを実現するために, フレネルキルヒホッフの回折積分のシミュレータを用いてリニアエンコーダの光学系の設計を行った. この設計結果に基づき, 受光素子とスリット形状の発光領域を持つ面発光LED光源とからなる受発光デバイスを搭載したセンサヘッドを開発した. さらに2度の成膜プロセスと, 1度のエッチング工程のみで実現した安価な回折格子スケールを開発した. これらの技術開発により, 10nm分解能以下の安価な高分解能リニアエンコーダを実現した.
