基礎講座
光電子集積回路技術
2004 年 73 巻 3 号 p. 384-390
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2004 年 73 巻 3 号 p. 384-390
光電子集積回路技術の現状と将来について，モノリシック集積を中心に概説する．モノリシック型光電子集積回路(OEIC)の技術的課題を，材料技術を軸として説明している．化合物半導体系，異種材料系，Si系OEICのそれぞれの現状を整理し，解決すべき技術的課題と実用化・商用化に向けた観点から目指すべきOEICについて述べている．
