研究紹介
微細加工ツールとしてのプローブ技術
2004 年 73 巻 4 号 p. 490-493
詳細
2004 年 73 巻 4 号 p. 490-493
走査型プローブ顕微鏡はナノメートルでの表面観察のみでなく，微細加工やマニピュレーションなどナノエンジニアリングツールとして進化をつづけている．本稿では，プローブ先端で生じるさまざまな相互作用を利用した微細加工ツールとしてのプローブ技術について述べる．機械的作用を用いたナノスケール超音波振動切削法，ピペットプローブを用いた化学的加工法，近接場光を用いた光学的加工法，そして電気化学的作用によるナノスケール着消色加工法など最近のわれわれの取り組みを紹介する．
