半導体技術を応用した有機／バイオ素子作製

抄録

有機／バイオ素子の作製は，半導体で広く用いられている微細加工技術を基礎にしているが，材料や素子構造が異なるため，実際の加工法も異なる．本講座では，微細加工技術について詳しく，かつ有機／バイオ素子作製への展開を図ろうと考えている研究者を対象に，微細加工装置，材料，バイオセンサーの検出原理，バイオ材料の固定化法，微細流路の形成法，基板接着技術を紹介し，具体例として，カテコールアミンセンサーと揮発性有機化合物センサーについても紹介する．