応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
半導体技術を応用した有機/バイオ素子作製
堀内 勉林 勝義
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2005 年 74 巻 3 号 p. 366-370

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抄録

有機/バイオ素子の作製は,半導体で広く用いられている微細加工技術を基礎にしているが,材料や素子構造が異なるため,実際の加工法も異なる.本講座では,微細加工技術について詳しく,かつ有機/バイオ素子作製への展開を図ろうと考えている研究者を対象に,微細加工装置,材料,バイオセンサーの検出原理,バイオ材料の固定化法,微細流路の形成法,基板接着技術を紹介し,具体例として,カテコールアミンセンサーと揮発性有機化合物センサーについても紹介する.

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© 2005 公益社団法人応用物理学会
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