研究紹介
50〜4000eV領域の軟X線平面結像型分光器の開発と電子顕微鏡への応用
2014 年 83 巻 4 号 p. 288-292
詳細
2014 年 83 巻 4 号 p. 288-292
50〜4000eVまでの幅広いエネルギー領域にわたる軟X線発光スペクトルを高効率・高分解能で計測可能な軟X線平面結像型回折格子分光器を開発した．これを電子顕微鏡に搭載することで，機能性物質におけるナノスケール空間領域の構造評価とその化学結合状態分析を同時に実現できる．本稿では本分光器の特徴を述べるとともに，電子プローブマイクロアナライザや透過型電子顕微鏡に搭載して得られた測定例について紹介する．
