応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
プラズマプロセスによる金属の表面窒化
市來 龍大
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2020 年 89 巻 6 号 p. 338-342

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抄録

金属材料の表面硬化技術であるプラズマ窒化処理には,産業界では低圧プラズマが使用されている.我々は多品種少量生産方式を実現するため,真空設備を必要としない大気圧プラズマによる窒化法を研究している.プラズマ源としてパルスアーク型プラズマジェットおよび平板型バリヤ放電を用い,アンモニアガスを用いない窒素ベースガス下において各種鉄鋼およびチタン合金の表面窒化に成功した.

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© 2020 公益社団法人応用物理学会
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