研究紹介
プラズマプロセスによる金属の表面窒化
2020 年 89 巻 6 号 p. 338-342
詳細
2020 年 89 巻 6 号 p. 338-342
金属材料の表面硬化技術であるプラズマ窒化処理には，産業界では低圧プラズマが使用されている．我々は多品種少量生産方式を実現するため，真空設備を必要としない大気圧プラズマによる窒化法を研究している．プラズマ源としてパルスアーク型プラズマジェットおよび平板型バリヤ放電を用い，アンモニアガスを用いない窒素ベースガス下において各種鉄鋼およびチタン合金の表面窒化に成功した．
