抄録
Y2O3を5wt%含有するAlN顆粒の焼結性及びその特性について検討した。AlN顆粒を炭素還元窒素気流中、1600~1850℃-15分、1850℃については1~24時間焼結し、その相対密度、結晶相、酸素含有量及び微構造について測定・観察を行った。その結果、1850℃、15分でほぼ完全に緻密化することが判明した。Y2O3は1600℃-15分の条件下、AlN中の酸素不純物と反応し、Al2Y4O9及びAlYO3となった。一方、生成したAl2Y4O9及びAlYO3は、1850℃-3時間以上で還元雰囲気の影響によりY2O3に還元された。