化学溶液堆積法により作製した(K,Na)NbO₃-BaZrO₃薄膜の強誘電体特性

抄録

現在、環境保護の観点から圧電体材料の非鉛化が望まれている。その中で、最近(K,Na)NbO₃(KNN)薄膜において|d₃₁|>100pm/Vという非常に大きな値が報告され、KNN薄膜によるPZT薄膜代替の可能性が示された。我々は更なるKNN薄膜の圧電特性改善には薄膜独自の組成設計が必要であると考えたが、KNN薄膜は組成ズレが起きやすいアルカリ金属を多く含むため組成制御や合成の難易度が高いという問題がある。そこでCSD法の原料の混合比を変えることで薄膜の組成を制御できる特徴を利用し、まずは本手法を用いて精密に組成を制御した(K,Na)NbO₃-BaZrO₃固溶体薄膜の合成を試みた。