レーザーCVD法によるチタン系サーメットへの硬質コーティング

抄録

波長の異なる２つのレーザーを用いたレーザーCVD法を用い、チタン系硬質サーメット表面に、硬質コーティングを作製した。サーメットへのコーティングは、通常の熱CVDでは、サーメットの劣化を引き起こすことが知られている。本講演では、熱CVDでのサーメット劣化の原因を明らかにしつつ、表面局所加熱が可能なレーザーCVDを用いたコーティング法による劣化抑制についても述べる。