数値制御プラズマCVMによるヨハンソン型Si(111)二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工（第4報）

表面粗さの生成要因に関する検討

抄録

ヨハンソン型二重湾曲分光結晶は、入射X線の集光と単色化を同時に行う素子である。我々は単結晶Si製分光結晶の加工法として、非接触な化学的無歪加工法である大気開放型数値制御プラズマCVMを用い、高精度でダメージフリーな曲面加工に成功している。しかし、加工後の表面粗さは悪化する傾向にあり、基板温度や面方位に応じて表面粗さの構造が変化することがわかった。本報では電極構造に着目し、表面粗さを低減する手段について検討した。