フェムト秒レーザピーンフォーミングによる微細部品の成形

抄録

集光したフェムト秒レーザを薄板表面に走査すると、レーザ誘起衝撃波の効果で照射面を凸とする方向に薄板を曲げることができる。本法はレーザの走査に時間がかかるため、走査面積の小さい微細部品の成形に用いることが望ましい。そこで、同一のレーザで小さく切断した薄板を曲げ加工することで、微細部品の成形を試みた。本法は金型による拘束がないので形状ばらつきが生じやすい。そこでばらつきを改善する加工方法を考案した。