金型転写による縦穴構造研磨パッドの開発

抄録

硬脆材料の仕上げ研磨にはウレタン樹脂製のスエードタイプ研磨パッドが一般的に使われている。しかしスエードタイプ研磨パッドは表層（NAP層）の気孔が涙滴形であり、研磨パッドの摩耗と共に気孔径が変化し、その研磨特性が一定ではないという問題点がある。本研究では金型転写を利用して研磨パッド表層に摩耗しても気孔径が変化しない直方形の気孔をもつ縦穴構造研磨パッドを開発した。研磨パッドの物性およびその研磨特性を考察し、報告する。