主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2020年度精密工学会春季大会
開催地: 東京農工大学
開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19
p. 103-104
屈折率分布型レンズアレイを投影レンズとする走査露光により、簡便安価かつ大領域にマイクロオーダの微細パターンを転写する方法を検討している。従来、1µm膜厚のポジ型レジストで微細化とフィールド内の均一露光に注力して来たが、今回、50〜100µmの厚いネガ型レジストに対してライン&スペースパターンの形成実験を行なった。アスペクト比1ぐらいまでは、垂直に近い側壁を持つパターンを形成できることが分かった。