精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
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屈折率分布型レンズアレイを用いた厚膜レジストへの走査投影露光の基礎検討
*大塚 直幸福原 豪晴小林 宏史堀内 敏行
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キーワード: フォトリソグラフィ
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p. 103-104

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抄録

屈折率分布型レンズアレイを投影レンズとする走査露光により、簡便安価かつ大領域にマイクロオーダの微細パターンを転写する方法を検討している。従来、1µm膜厚のポジ型レジストで微細化とフィールド内の均一露光に注力して来たが、今回、50〜100µmの厚いネガ型レジストに対してライン&スペースパターンの形成実験を行なった。アスペクト比1ぐらいまでは、垂直に近い側壁を持つパターンを形成できることが分かった。

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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