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環境変化が激しいグローバルな競争下で,高品質な製品やサービスを安定して提供し続けるためには,製品実現のための業務プロセス(製品実現プロセス)の絶えざる改善が必須である.このために,従来,製品実現プロセスの仕組みの構築レベルを監査するISO9001監査や,仕組みの実行度を高頻度にモニタするプロセスQA(Quality Assurance)が実践されてきた.しかし,これらの取り組みは仕組みか実行のいずれかの評価・改善に重きを置いたアプローチであった.本報告では,我々が開発して来た品質経営評価技法に基づくプロセス改善手法を提案する.提案手法は,仕組みと実行の両面からプロセス品質を評価した結果を用いてプロセス改善対象を提示する.提案手法を社内のプロセス改善活動に適用した結果,プロセス改善を効率的に実施できることがわかった.

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近年,コストと納期の制約の下で高品質な製品・サービスを安定して提供し続けるための品質マネジメントの重要性が増している.このような背景の中,我々は,製品開発の業務プロセス品質を事業部門の「仕組み」と製品開発プロジェクトの「実行」の両面から評価し,ベストプラクティスを提示し改善提案を行う品質経営評価技法を開発し実践してきた.今回の報告では,有効な改善提案を提示可能にすることを目的として,ベストプラクティスの表現方式を検討し,ベストプラクティスライブラリを構築した.それを用いて事業部門に行った改善提案は74%が採用され,構築したベストプラクティスライブラリは有効な改善提案に結び付くことが検証できた.

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環境変化が激しいグローバルな競争下で,高品質な製品やサービスを安定して提供し続けるためには,製品実現のための業務プロセス(プロジェクトプロセス)の絶えざる改善が必須である.このために,従来,品質マネジメントの仕組みの構築レベルを監査するISO9001監査やプロジェクトマネジメントの仕組みの実行度を高頻度にモニタするプロセスQA (Quality Assurance)が実践されてきた.しかし,これらの取り組みは仕組みか実行のいずれかの評価・改善に重きを置いたアプローチであった.本報告では,我々が開発して来た品質経営評価技法に基づくプロセス改善手法について提案する.提案手法は,仕組みと実行の両面からプロセス品質を評価した結果を用いて,組織状態に合致したプロセス改善候補を仕組みと実行から選択するものである.提案手法を社内のプロセス改善活動に適用した結果,短期間の改善活動でプロセス品質の改善効果を確認できた.

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プロジェクトマネジメント力の強化を目的に,「プロジェクト型の仕事」とそれが備えるべき8つの特性を定め,それらを簡便に評価する「プロジェクト型の仕事」チェックシートを開発した.その試行を通じてプロジェクトマネジメント力強化における組織的運用・支援機能の重要性が明らかとなった.更にこの知見を反映して,プロジェクトマネジメント力強化のためのセルフアセスメントの実施手順とそれを支援するアセスメントツール群を開発した.本稿では,この中で特に組織的運用・支援機能の成熟度を評価する「組織的運用・支援の成熟度定義表」について述べる.開発されたセルフアセスメントツール群を,ある事業部門に適用し,組織的運用・支援を主業務とするPMO(Project Management Office)機能の立上げを図った.その結果,短期間(7ヶ月間)でプロジェクトマネジメント力の向上効果を確認することができた.

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近年,コストと納期の制約の下で高品質な製品・サービスを安定して提供し続けるための品質マネジメントの重要性が増している.このような背景の中,我々は,製品開発の業務プロセス品質を事業部門の「仕組み」と製品開発プロジェクトの「実行」の両面から評価し,ベストプラクティスを提示し改善提案を行う品質経営評価技法を開発し実践してきた.今回の報告では,有効な改善提案を提示可能にすることを目的として,ベストプラクティスの表現方式を検討し,ベストプラクティスライブラリを構築した.それを用いて事業部門に行った改善提案は75%が採用され,構築したベストプラクティスライブラリは有効な改善提案に結び付くことが検証できた.

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多くのシステムや製品が高度化する中で,それを実現するメーカにおける業務プロセスの品質を確保することが重要となっている.日立では, ISO9001などを参考に,各事業部門の業務プロセスとその実行度合いを評価する「品質経営評価技法」を開発・実践してきたが,開発・生産しているシステムの不具合撲滅には至らなかった.本論文では「品質経営評価技法」などの業務プロセス評価において,不具合情報を活用して質問を設定する手順を提案する.この手順は,人の不適切な行動のタイプによって必要な対策が異なること,事業部門ごとに不具合の技術的な内容が異なることに配慮したものである.提案する手順を社会インフラ事業部門の1つの開発プロジェクトに適用した結果,不具合情報を反映した質問を用いることで,従来の品質経営評価技法と比較して,業務プロセスの評価における指摘事項の件数,指摘事項に基づいてFMEA・設計資料において気付くことのできる不具合の件数が大幅に増えることが分かった.

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A new technique for detecting with high accuracy the position of alignment patterns on both the wafer and the photomask has been developed. The technique which could be applied in an automatic projection mask aligner for LSI fabrication.
Interference fringes, which are caused by monochromatic illumination (g-line) on the surface of the photoresist layer coated over the alignment pattern on the wafer, are projected against a moving slit through the projection lens. The detected signal is generated by the slit movement on the magnified image of the alignment pattern on the wafer.
In order to detect the center of the interference fringes, which is considered to be coincident with the center of the alignment pattern on the wafer, a pattern matching method is applied on the detected signal. The detecting resolution is 0.04μm and the detecting repeatability is 0.074μ (3σ). The accuracy of detecting the relative displacement between the alignment pattern on the wafer and that on the photomask is 0.19μm (3σ).

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高品質な製品やサービスを提供し続けるためには,それを生み出す業務プロセスの品質を向上させる必要がある。そこで,製品開発業務プロセスの品質を評価し,要改善箇所を抽出し,改善活動の指針を提供する品質経営評価技法を試作した。本報告では,先ず品質経営評価技法の考え方について述べ,次に試作した評価技法の質問項目,入力情報,定量的評価方法,改善を促進するための出力方式について述べる。さらに,7事業部門で試行を行い実用レベルにあることを確認した。この試行結果についても報告する。

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高品質な製品やサービスを提供し続けるためには,それを生み出す業務プロセスの品質を向上させる必要がある.そこで,製品開発業務プロセスの品質を評価し,要改善箇所を抽出し,改善活動の指針を提供する品質経営評価技法を試作した.本報告では,先ず品質経営評価技法の考え方について述べ,次に試作した評価技法の質問項目,入力情報,定量的評価方法,改善を促進するための出力方式について述べる.さらに,7事業部門で試行し実用レベルにあることを確認した.この試行結果についても報告する.

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「製品実現プロセスの品質」は「仕組み(事業部の品質マネジメントシステム)」と「実行(仕組みに従ったプロジェクトの日々の実務)」の良し悪しにより決まると考え,プロセス品質を仕組みと実行の両面から評価する品質経営評価技法を開発してきた.本報告では,品質経営評価技法の適用(9事業部門の仕組みと,同部門で進行中の72製品開発プロジェクトの実行を評価)を通じて得られた,業種別(ハードウェア製品系,ソフトウェア製品系)の評価結果の比較分析について述べる.(1)各事業部門には独自の先進的な仕組みがあること,(2)その先進的な仕組みは相互に活用して有効であること,(3)優れた実行は特定のプロジェクトに集中して発見されること,(4)本技法で複数プロジェクトの実行レベルを平均値とバラツキの形で定量的に表現できること,などの結果を得た.

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「製品実現プロセスの品質」は「仕組み(事業部の品質マネジメントシステム)」と「実行(仕組みに従ったプロジェクトの日々の実務)」の良し悪しにより決まると考え,プロセス品質を仕組みと実行の両面から評価する品質経営評価技法を開発してきた.本報告では,品質経営評価技法の適用(9事業部門の仕組み評価と,そこで進行中の72製品開発プロジェクトの実行評価)を通じて得られた,日立グループ内における業種別(ハードウェア製品系,ソフトウェア製品系)の評価結果の比較分析について述べる.(1)各事業部門には独自の先進的な仕組みがあること,(2)その先進的な仕組みは相互に活用でき有効であること,(3)優れた実行は特定のプロジェクトに集中して発見されること,(4)本技法で複数プロジェクトの実行レベルを平均値とバラツキの形で定量的に表現できること,などの結果を得た.

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This paper describes a pattern inspection technique for X-ray masks that uses a scanning transmission electron microscope (STEM). The conventional scanning electron microscopes (SEM) do not give pattern images of desired quality because a protective coating on the mask accumulates charge when subjected to an electron beam. This problem was solved by using a STEM; the high acceleration voltage enabling the STEM to detect stable mask patterns despite the charging effect. For practical use, however, the low SN ratio and low detection speed must be improved. To do this, the electron trajectories in X-ray masks were examined by Monte Carlo simulations, and the existence of the best detecting angle which maximizes contrast was found. A high SN ratio and high detection speed have been achieved by properly designing the STEM, employing an exit stop arrangement to realize the best detecting angle. This system is expected to show performance of a minimum detectable size of 0.1μm and inspection speed of 1cm²/hour.

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