シールドプレーナ型単磁極ヘッドの試作検討(記録システムおよび一般)

抄録

強記録磁界を発生する複合磁極面構造の一つであるテーパー主磁極と磁界分布を急峻にするラップアラウンド・シールドとを組み合わせたシールドプレーナ型単磁極ヘッドの試作を行った.ヘッドの試作においては,異方性エッチングを行ったSiのテンプレートに磁極材料を埋め込んでテーパー形状の主磁極を形成するなど,現行の単磁極ヘッドのプロセスとは異なる手法を用いた.その結果,この新しい構造のヘッド試作を完成し,さらに,初めて記録特性評価を行った.