小型高機能な集積型光デバイス実現に向けた石英系平面光波回路におけるヘテロジニアス集積技術の展開

エレクトロニクス実装学会誌

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特集／Heterogeneous Integration

小型高機能な集積型光デバイス実現に向けた石英系平面光波回路におけるヘテロジニアス集積技術の展開

倉田優生

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ジャーナルフリー

2017 年 20 巻 6 号 p. 401-406

DOI https://doi.org/10.5104/jiep.20.401

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